天然氣液化設備廠家對于4英寸～6英寸芯片生產，由于通常采用片盒開敞式生產，操作區空氣中的塵埃會直接影響硅片電路的電氣性能，因此對于操作區的凈化要求較高。為了節省運行費用，保證凈化要求，通常采用壁板將操作區和低潔凈度要求的設備區分開。
    隨著芯片加工尺寸向8英寸及12英寸發展，對于線寬的要求也越來越高，天然氣液化設備廠家大面積高潔凈度凈化區的造價和運行成本越發昂貴，因此采用標準機械接口加微環境的生產方式成為8英寸及12英寸芯片生產方式的主流。在這種方式中，硅片放置在密閉的片盒中，在運輸和加工過程中不會受到外界環境的污染，因此操作區可以采用較低的凈化等級。同時8英寸及12英寸的生產輔助設備通常可以放置在生產區的下技術夾層中，以減少在生產區占用的面積，可以提高凈化區的面積利用率，擴大單位面積的產能，因此在生產區中就沒有采用隔墻將操作區和設備區隔開，天然氣液化設備廠家同時可以提高設備布置的靈活性。

3.3.9 由于硅集成電路生產對環境要求很高，參觀人員進入生產區參觀會對環境及生產產生不利的影響，同時進入潔凈區換鞋、更衣等步驟耗時較多，因此通常會在潔凈生產區外設置參觀走道，參觀走道通常布置在廠房的一側或環形布置。
3.3.10 對于早期的8英寸芯片工廠來說，大部分硅片傳送、天然氣液化設備廠家存儲和分發是通過人工操作完成的。目前多數8英寸和12英寸芯片工廠設有自動物料處理系統(AMHS)，其優點在于有效利用潔凈室空間、有效地管理生產中的芯片、有效地降低操作人員的負擔，近而減少在傳送硅片時的失誤。在一些12英寸生產工廠，天然氣液化設備廠家運輸系統可延伸到不同的生產區域