吉林省做化工設備的廠家，吉林省做石化設備的廠家，吉林省做壓力容器的廠家

吉林省做化工設備的廠家，吉林省做石化設備的廠家，吉林省做壓力容器的廠家根據工藝要求，應對潔凈室（區）的空氣參數進行監視、測量和記錄。

4.2.2 潔凈室（區）的監控系統與凈化空調的監控系統宜合用，或采用通信的方式進行數據共享。

4.2.3 多個潔凈室（區）采用一套監控系統時，應根據嚴格的潔凈室（區）的溫度和濕度要求選擇控制系統的精度。

4.2.4 潔凈室（區）內外的壓差檢測，宜采用壓差變送器監測。

4.2.5 潔凈室（區）安裝有過濾器時，吉林省做化工設備的廠家，吉林省做石化設備的廠家，吉林省做壓力容器的廠家宜具有過濾器壓差報警功能。

4.2.6 傳感器宜對化學物質沉積采取防護措施或具備自潔功能。

.1 供暖、通風與空氣調節系統監控應對供暖、通風、空調系統的運行工況進行監視、控制、測量和記錄。

4.3.2 凈化空調與一般空調的控制系統宜分開設置。

4.3.3 供暖、通風與空氣調節系統監控應對送排風機及新風空調機組的運行狀態、故障報警、啟?？刂?、手自動切換進行監控。

4.3.4 潔凈室（區）的送風、回風和排風系統的啟停宜連鎖。吉林省做化工設備的廠家，吉林省做石化設備的廠家，吉林省做壓力容器的廠家當連鎖控制時，宜采用措施對各部分的運行狀態進行確認；當各部分的運行狀態不滿足要求時，應報警。

4.3.5 凈化空調系統的風機宜采用變頻控制，變頻器的數據宜通過通信的方式獲得。

4.3.6 冬季存在結凍可能的新風機組、空調機組應設置防凍保護措施。

4.2.1 對溫度、濕度、露點溫度、壓差、潔凈度、空氣成分等全部或部分空氣參數進行監視、測量和記錄，并及時報警，維持潔凈環境，滿足工藝生產的要求。

    對于生產新型顯示器件及半導體器件的潔凈室環境，吉林省做化工設備的廠家，吉林省做石化設備的廠家，吉林省做壓力容器的廠家懸浮分子污染物（Airborne Molecular Contaminants，AMC）的控制越來越重要。國際半導體設備與材料協會（Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI）的標準根據化學品的特性，將潔凈室中的空氣污染物分為酸（Molecular Acids，MA）、堿（Molecular Bases，MB）、可凝聚物（Molecular Condensables，MC）和摻雜物（Molecular Dopants，MD）。

4.2.2 系統合用便于統一管理，保證數據傳輸的可靠、及時；如分開設置，需采取措施保證不同監控系統間數據通信的可靠、及時。

4.2.3 在同一棟生產廠房內，工藝段對潔凈環境的溫度、濕度、壓力要求不同，但控制系統共用時，控制系統的選擇應滿足嚴格的要求。

4.2.6 個別生產工藝段有化學沉積現象，化學物質沉積在敏感元件處時會影響測量精度，嚴重的會使傳感器失去功能，因此，吉林省做化工設備的廠家，吉林省做石化設備的廠家，吉林省做壓力容器的廠家要采取適當的防護措施。