國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業電子產品生產用潔凈室有多種形式，下面根據在電子工廠中已實際應用的各種類型的潔凈室形式進行簡要描述。1 根據電子產品生產工藝要求，空氣潔凈度等級和平面或空間布置要求，微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業開放式、島形布置等，見圖1。據調查表明，集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5″、6″芯片制造廠，生產工藝設備跨潔凈生產區和設備維護區，國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業潔凈生產區對潔凈度要求嚴格，而維護區的空氣潔凈度等級較低。目前8″、12″芯片制造工廠普遍采用開放式潔凈室加微環境(minienvironment)的方式，將芯片制造過程對空氣潔凈度要求十分嚴格的硅片加工過程(1～4級)布置在微環境裝置內，而開放式潔凈室的潔凈度等級只需5～6級，這種潔凈室形式既可做到工藝布置的靈活性，又可做到減少建設投資和降低能量消耗、國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業降低運行費用等。

按氣流流型劃分潔凈室時，可劃分為單向流潔凈室、國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

    1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。

    2)多層潔凈室，國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。

    國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室，主要用于空氣潔凈度等級為6～9級的潔凈室，此類潔凈室當單側回風時其寬度一般不大于6m?；旌狭鳚崈羰沂窃谕粷崈羰覂?，國內生產雙層液氨儲罐的廠家，國內生產雙層液氯儲罐的企業同時存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室(區)。